发明名称 TWO-DIMENSIONAL SEMICONDUCTOR ARRAY AND UNIT THEREOF, AND MACHINING APPARATUS WITH LASER
摘要
申请公布号 JPH11177181(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970337160 申请日期 1997.12.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAYAMA MICHIO;TAKADA ATSUSHI
分类号 H01S5/00;H01S3/00;H01S5/042;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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