发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN GENERATING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176938(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970337415 申请日期 1997.12.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIMA KENJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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