| 发明名称 |
POSITIONING METHOD OF LIGHT SPOT AND MEASUREMENT METHOD OF FILM THICKNESS ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11173813(A) |
申请公布日期 |
1999.07.02 |
| 申请号 |
JP19970362738 |
申请日期 |
1997.12.11 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NAKATANI FUMIYOSHI;KUSUDA TATSUFUMI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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