发明名称 RESINE DE COPOLYMERE, SA PREPARATION ET PHOTORESIST UTILISANT CELLE-CI
摘要 L'invention concerne une résine de copolymère, sa préparation, et un photorésist utilisant celle-ci.Selon l'invention, la résine de copolymère est caractérisée en ce qu'elle a un poids moléculaire de 3 000 à 100 000, et en ce qu'elle comprend un monomère mono-méthyl cis-5-norbornène-endo-2, 3-dicarboxylate et en ce qu'elle est représentée par la formule III où R représente un groupe tert-butyle, hydropyranyle, hydrofuranyle ou éthoxyléthyle, et le rapport x : y : z vaut (0, 1 à 99 %) : (0, 1 à 99 %) : (0, 1 à 99 %). L'invention trouve application dans le domaine de l'industrie électronique.
申请公布号 FR2773160(A1) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 FR19980016498 申请日期 1998.12.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD 发明人 JUNG MIN HO;JUNG JAE CHANG;BOK CHEOL KYU;BAIK KI HO
分类号 G03F7/029;C08F222/06;C08F232/08;C08F277/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F232/08 主分类号 G03F7/029
代理机构 代理人
主权项
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