发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11174684(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970346405 申请日期 1997.12.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MITSUYOSHI YASURO;SATO YASUHIKO;ONISHI KIYONOBU
分类号 G03F7/075;B82B1/00;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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