发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11176927(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19970343528 申请日期 1997.12.15
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKAMURA KENTA
分类号 H01L21/76;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址