发明名称 |
SOFT BAKING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR PHOTO-APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100206936(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
申请号 |
KR19960039075 |
申请日期 |
1996.09.10 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
PARK, JUNG-HONG |
分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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