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发明名称
METHOD AND APPRATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
KR100205838(B1)
申请公布日期
1999.07.01
申请号
KR19960033541
申请日期
1996.08.13
申请人
SHARP CORPORATION
发明人
EHIRO, MASAYUKI
分类号
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3183;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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