发明名称 METHOD AND APPRATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR100205838(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19960033541 申请日期 1996.08.13
申请人 SHARP CORPORATION 发明人 EHIRO, MASAYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3183;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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