| 发明名称 |
VACUUM TREATMENT INSTALLATION |
| 摘要 |
In einer Vakuumbehandlungsanlage mit einer Vakuumkammer (1) ist ein drehgetriebener Teil (5) gelagert. Ein Getriebe für den Teil (5) umfasst zwei gegenseitig abrollende Übertragungs-Rotationskörper (10, 18), welche magnetisch miteinander antriebsgekoppelt sind (12, 20). Mindestens einer der erwähnten Übertragungs-Rotationskörper ist dabei innerhalb der Vakuumkammer (1) angeordnet.
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| 申请公布号 |
WO9933093(A1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
| 申请号 |
WO1998CH00513 |
申请日期 |
1998.12.03 |
| 申请人 |
BALZERS HOCHVAKUUM AG;SCHERTLER, ROMAN;DUBS, MARTIN |
发明人 |
SCHERTLER, ROMAN;DUBS, MARTIN |
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/50;G11B7/26;G11B11/105;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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