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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR100206664(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19960024415 申请日期 1996.06.27
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 NOJAKI, KOJI;JANO, EI;WATANABE, KEIJI;NAMIKI, TAKAHISA;IKIRASHI, MIWA;KURAMITSU, YOKO;TAKECHI, SATOSHI;KOTACHI, AKIKO;TAKAHASHI, MAKOTO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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