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发明名称 PHASE SHIFT MASK APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100206984(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19970005131 申请日期 1997.02.20
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 HAN, OH-SUK
分类号 G03F1/26;(IPC1-7):G03F1/08 主分类号 G03F1/26
代理机构 代理人
主权项
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