| 发明名称 |
DOSE ERROR PREVENTION APPARATUS OF ION IMPLANTATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100206948(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
| 申请号 |
KR19960047641 |
申请日期 |
1996.10.23 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
LEE, JIN-TAE |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/48;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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