A DISK VENT SYSTEM OF AN IONIMPLANTER,申请号KR19960043516-传众专利搜索

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发明名称	A DISK VENT SYSTEM OF AN IONIMPLANTER
摘要
申请公布号	KR100205784(B1)	申请公布日期	1999.07.01
申请号	KR19960043516	申请日期	1996.10.01
申请人	FAIRCHILD KOREA SEMICONDUCTOR LTD.	发明人	KIM, TAE-WOO
分类号	H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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