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发明名称 STATIC MEGASONIC CLEANING SYSTEM FOR CLEANING OBJECTS
摘要
申请公布号 KR100206480(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19950075963 申请日期 1995.12.28
申请人 CFMT INC. 发明人 THOMAS, HUW K.;CAROLIN, ROGER A.;ERHAROT, HEINRICH S.;MCCONNELL, CHRISTOPHER F.
分类号 B08B3/12;B05B17/06;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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