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发明名称 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION SYSTEM AND METHOD OF REDUCING PARTICULATE CONTAMINANTS IN THE CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100206612(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19910010887 申请日期 1991.06.28
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 JAMES V. RINNOVATORE
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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