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发明名称 WAFER CLAMP OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100205245(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19950055693 申请日期 1995.12.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 HAN, CHUN-SOO;JANG, HYUN-BOCK
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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