| 摘要 |
<p>Les lentilles d'optique particulaire à symétrie de révolution présentent inévitablement des aberrations chromatiques. Ce défaut que présentent les lentilles impose pour les appareils d'optique particulaire connus de la technique, une limite de résolution correspondant à une tension d'accélération relativement basse (entre 0,5 kV et 5 kV). Ce défaut ne peut pas être éliminé au moyen de champs à symétrie de révolution. Afin d'obtenir quand même une meilleur résolution, on a déjà proposé d'atténuer cette aberration chromatique à l'aide d'un correcteur de type Wien. Cette configuration connue comporte un certain nombre de multipoles électriques et magnétiques. Afin d'adapter la capacité de correction du correcteur (28) à la puissance de l'objectif (8) à corriger et d'obtenir une plus grande latitude en matière de tolérances mécaniques, le correcteur (28) de l'invention est excité de sorte que la trajectoire des électrons constitue une sinusoïde d'une longueur ne s'écartant pas de plus de 10 % par rapport à une période de sinus complète, en aval et en amont du dispositif de correction avec un agencement à n poles, où n est égal à 4, 6, ... (27, 29), pour une distance inférieure d'un quart à la longueur du correcteur.</p> |
