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发明名称
Universal Mehrfach-Kontakt-Verbindung zwischen einer EWS-Probekarte und eine Testkarte oder einer Siliciumscheiben-Teststation
摘要
申请公布号
DE69131266(D1)
申请公布日期
1999.07.01
申请号
DE19916031266
申请日期
1991.06.12
申请人
STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT
发明人
LIBRETTI, GIUSEPPE, I-20132 MILANO, IT
分类号
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;H01R11/18;H01R31/06;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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