发明名称 Universal Mehrfach-Kontakt-Verbindung zwischen einer EWS-Probekarte und eine Testkarte oder einer Siliciumscheiben-Teststation
摘要
申请公布号 DE69131266(D1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 DE19916031266 申请日期 1991.06.12
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT 发明人 LIBRETTI, GIUSEPPE, I-20132 MILANO, IT
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;H01R11/18;H01R31/06;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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