| 发明名称 |
MANUFACTURIMG METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND BIAS ECRCVD APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100188896(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
| 申请号 |
KR19900017101 |
申请日期 |
1990.10.25 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
SATO, JUNICHI;GOTSO, TETSUO;MORIDA, YASUSHI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L29/92 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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