发明名称 Verfahren zum Erzielen eines möglichst linearen Verschleißverhaltens und Werkzeug mit möglichst linearem Verschleißverhalten
摘要
申请公布号 DE19756537(A1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 DE19971056537 申请日期 1997.12.18
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG, 84489 BURGHAUSEN, DE 发明人 HOFMANN, ROBERT, DIPL.-ING. (FH), 83376 TRUCHTLACHING, DE;LEHFELD, PETER, 84489 BURGHAUSEN, DE;LUNDT, HOLGER, DR., 84489 BURGHAUSEN, DE;RIPPER, BERT, DIPL.-ING. (FH), 92353 POSTBAUER-HENG, DE
分类号 B24B49/00;B24D13/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B53/02;B24D3/00;G01B21/02;B24B41/06;H01L21/302 主分类号 B24B49/00
代理机构 代理人
主权项
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