发明名称 METHOD FOR FORMING METAL WIRING IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100206939(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19960040799 申请日期 1996.09.19
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KANG, SIN-SEOK
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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