| 发明名称 |
THERMOCOUPLE CHECKING APPARATUS OF REACTOR CHAMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200150087(Y1) |
申请公布日期 |
1999.07.01 |
| 申请号 |
KR19960013859U |
申请日期 |
1996.05.30 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
BANG, HYUN-IL |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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