载料器传送装置和应用该装置传送载料器的方法

摘要

一种传送晶片承载器的装置,通过改变它的镜头和一图像标记的尺寸,可同时识别该晶片承载器的条形码和附着在加工设备上的用于位置校正的该图像标记。从而不需要单独的条形码阅读器来识别该条形码,这样减少了安装成本。此外,不要求该加工设备停下来安装该条形码阅读器,因而提高了生产率。

主权项

1．一种传送载料器的装置，包括：一在其上安装所说载料器的支承件；一机器人手臂，从所说支承件卸下所说载料器并将所说的载料器安装在一加工设备上，或从所说的加工设备卸下所说的载料器，并将所说的载料器装在所说的支承件上；一用来支承和移动所说支承件和所说的机器人手臂的运输单元；以及一安装在所说机器人手臂上的影像识别装置，用来同时识别一附着在所说载料器上的条形码和一用来校正所说加工设备上的安装位置的图像标记。