密封型扫描探针显微镜扫描器

摘要

本实用新型属于扫描探针显微镜领域。为解决扫描器防潮问题,采用一种密封型结构。样品台与压电陶瓷管的组合件安装在外套之中,外套与样品台之间用密封胶封口,外套下端用一封装盖密封,封装盖的引线出孔亦用密封胶密封。此全密封型结构保证扫描器本体与环境隔离。因此压电陶瓷管不会因受潮而工作状态不稳定或电击穿。本实用新型适用于各种类型的扫描探针显微镜,工作稳定、使用寿命长。

主权项

1、一种密封型扫描探针显微镜扫描器，包括扫描器本体及其控制线路。扫描器本体包括外套(4)，置于外套中的样品台(6)，与样品台连接且固定在外套上的压电陶瓷管(3)及其引线(1)；样品台与外套之间涂有密封胶(5)，其特征在于还有一紧配合粘结在外套下端的封装盖(2)。