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经营范围
发明名称
FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11172427(A)
申请公布日期
1999.06.29
申请号
JP19970338581
申请日期
1997.12.09
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
HARADA TAKASHI
分类号
C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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