发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11172427(A) 申请公布日期 1999.06.29
申请号 JP19970338581 申请日期 1997.12.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HARADA TAKASHI
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址