| 发明名称 |
FILM FORMATION CAPABLE OF REGULATING CRYSTAL ORIENTATION PROPETY OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11172426(A) |
申请公布日期 |
1999.06.29 |
| 申请号 |
JP19970335819 |
申请日期 |
1997.12.05 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
MORITA TADASHI;YAMAMOTO NAOSHI;MATSUURA MASAMICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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