| 发明名称 |
METHOD FOR SUPPLYING WATER AT LOW FLOW RATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11171503(A) |
申请公布日期 |
1999.06.29 |
| 申请号 |
JP19970340283 |
申请日期 |
1997.12.10 |
| 申请人 |
FUJIKIN INC;HITACHI LTD |
发明人 |
MINAMI YUKIO;KAWADA KOJI;TANABE YOSHIKAZU;IKEDA SHINICHI;MORIMOTO AKIHIRO |
| 分类号 |
C01B5/00;F22B1/00;H01L21/316;(IPC1-7):C01B5/00 |
主分类号 |
C01B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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