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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11172434(A) 申请公布日期 1999.06.29
申请号 JP19970363155 申请日期 1997.12.15
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 WATANABE YASUSHI
分类号 C23C14/50;C23C16/44;H01J37/20;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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