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发明名称
TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11172420(A)
申请公布日期
1999.06.29
申请号
JP19970363006
申请日期
1997.12.12
申请人
EBARA CORP
发明人
SHINOZAKI HIROYUKI;TSUKAMOTO KIWAMU;HORIE KUNIAKI;FUKUNAGA YUKIO
分类号
C23C14/24;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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