发明名称 |
Positioning table |
摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Positioniertisch mit zumindest einem Tragekörper aus zumindest einem ersten Material, der eine Vielzahl von Ausnehmungen besitzt. Erfindungsgemäß ist an dem Tragekörper mindestens eine Deckplatte aus einem zweiten Material befestigt. <IMAGE>
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申请公布号 |
EP0926525(A2) |
申请公布日期 |
1999.06.30 |
申请号 |
EP19980121625 |
申请日期 |
1998.11.12 |
申请人 |
CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, TRADING AS CARL ZEISS |
发明人 |
TRUNZ, MICHAEL;TRIER,BERNHARD |
分类号 |
G12B9/08;B25H1/02;G02B7/00;G02B21/26;(IPC1-7):G02B7/00 |
主分类号 |
G12B9/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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