| 发明名称 |
Semiconductor processing chamber having diamond coated components |
| 摘要 |
A semiconductor processing chamber having diamond coated components.
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| 申请公布号 |
US5916370(A) |
申请公布日期 |
1999.06.29 |
| 申请号 |
US19980097226 |
申请日期 |
1998.06.12 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
CHANG, CHOW LING |
| 分类号 |
H01L21/687;(IPC1-7):C23L16/00 |
主分类号 |
H01L21/687 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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