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发明名称 PRODUCTION OF SILICON CARBIDE BULK SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH11171698(A) 申请公布日期 1999.06.29
申请号 JP19970362252 申请日期 1997.12.11
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC;DENSO CORP 发明人 SUGIYAMA NAOHIRO;OKAMOTO ATSUHITO;TANI TOSHIHIKO;KAMIYA NOBUO;KITO YASUO
分类号 C30B29/36;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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