| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN ANNÄHERND RUNDER ODER KREISSCHEIBENFÖRMIGER GEGENSTÄNDE, INSBESONDERE SILIZIUMWAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT405225(B) |
申请公布日期 |
1999.06.25 |
| 申请号 |
AT19950000753 |
申请日期 |
1995.05.02 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SUMNITSCH FRANZ |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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