| 发明名称 |
REATTORE PER DEPOSIZIONE CHIMICA IN FASE VAPORE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITTO971126(A1) |
申请公布日期 |
1999.06.23 |
| 申请号 |
IT1997TO01126 |
申请日期 |
1997.12.23 |
| 申请人 |
CSELT - CENTRO STUDI E LABORATORI TELECOMUNICAZIONI S.P.A. |
发明人 |
BERTONE DANIELE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/48;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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