| 发明名称 |
System for processing lithographic information |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0507589(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.23 |
| 申请号 |
EP19920302922 |
申请日期 |
1992.04.02 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
UMATATE, TOSHIKAZU;YAMAGUCHI, TADASHI |
| 分类号 |
G03F7/20;G05B15/02;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/82;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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