| 发明名称 |
A charged beam pattern data generating method and a charged beam pattern data generating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9909814(D0) |
申请公布日期 |
1999.06.23 |
| 申请号 |
GB19990009814 |
申请日期 |
1996.04.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/302;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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