| 发明名称 |
Vacuum drying of semiconductor material |
| 摘要 |
<p>Vorrichtung zum Trocknen von Halbleiterbruchmaterial, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zumindest eine vakuumdichte Vorrichtung mit zumindest einer Aufnahmevorrichtung für Halbleiterbruchmaterial aufweist und daß in der Vorrichtung ein Vakuum herrschen kann.</p> |
| 申请公布号 |
EP0924487(A2) |
申请公布日期 |
1999.06.23 |
| 申请号 |
EP19980124206 |
申请日期 |
1998.12.17 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMIE GMBH |
发明人 |
SCHMIDBAUER, WILHELM;WOCHNER, HANNS, DR.;OTT, WERNER |
| 分类号 |
F26B5/04;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/04 |
主分类号 |
F26B5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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