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发明名称 Belichtingsinrichting.
摘要
申请公布号 NL1010520(C2) 申请公布日期 1999.06.23
申请号 NL19981010520 申请日期 1998.11.10
申请人 SAMSUNG AEROSPACE INDUSTRIES, LTD. 发明人 YONG-GI KIM;DUK-YONG KO;JEOONG-YEON JUNG;HYUNG-SEOK LEE;YEON-WOOK JUNG
分类号 G03B33/12;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03B33/12
代理机构 代理人
主权项
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