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经营范围
发明名称
PLASMA GENERATION AND PLASMA PROCESSING OF MATERIALS
摘要
申请公布号
EP0923789(A1)
申请公布日期
1999.06.23
申请号
EP19980905937
申请日期
1998.01.06
申请人
TRUSI TECHNOLOGIES, LLC
发明人
SINIAGUINE, OLEG
分类号
H05H1/24;H05H1/40;H05H1/42;H05H1/44;H05H1/46;(IPC1-7):H01J7/24
主分类号
H05H1/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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