发明名称 Growth of group III nitride or group III-V nitride layers
摘要
申请公布号 GB2332563(A) 申请公布日期 1999.06.23
申请号 GB19970026848 申请日期 1997.12.18
申请人 * SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 JONATHAN * HEFFERNAN
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/32;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/306;H01S3/19 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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