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发明名称
Growth of group III nitride or group III-V nitride layers
摘要
申请公布号
GB2332563(A)
申请公布日期
1999.06.23
申请号
GB19970026848
申请日期
1997.12.18
申请人
* SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人
JONATHAN * HEFFERNAN
分类号
H01L21/203;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/32;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/306;H01S3/19
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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