| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11167206(A) |
申请公布日期 |
1999.06.22 |
| 申请号 |
JP19970347331 |
申请日期 |
1997.12.03 |
| 申请人 |
JSR CORP |
发明人 |
IWANAGA SHINICHIRO;KOBAYASHI HIDEKAZU;TANABE TAKAYOSHI |
| 分类号 |
G03F7/039;C08L53/00;C09D5/00;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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