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发明名称 CONTINUOUS FORMING METHOD OF TI/TIN FILM
摘要
申请公布号 JPH11168071(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970332821 申请日期 1997.12.03
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAGUCHI NOBUHIRO
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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