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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11168212(A)
申请公布日期
1999.06.22
申请号
JP19970348663
申请日期
1997.12.02
申请人
OMI TADAHIRO;ULTLA CLEAN TECHNOLOGY KAIHATSU KENKYUSHO:KK
发明人
OMI TADAHIRO;NITTA TAKEHISA;INO KAZUHIDE;SHINOHARA HISAKUNI
分类号
H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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