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发明名称
METHOD FOR SCREENING CONFORMING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH11166960(A)
申请公布日期
1999.06.22
申请号
JP19970334194
申请日期
1997.12.04
申请人
NEC CORP
发明人
UCHIBORI KATSUAKI
分类号
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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