发明名称 METHOD FOR SCREENING CONFORMING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11166960(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970334194 申请日期 1997.12.04
申请人 NEC CORP 发明人 UCHIBORI KATSUAKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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