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发明名称 VIBRATOR FOR INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE AND INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11166824(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970333174 申请日期 1997.12.03
申请人 JEOL LTD 发明人 KITAMURA SHINICHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/32;G01Q60/38;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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