发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11168141(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970348482 申请日期 1997.12.03
申请人 TEXAS INSTR JAPAN LTD 发明人 YOSHIKAWA MITSURU;KOBAYASHI AKISHI
分类号 H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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