发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11167892(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970333170 申请日期 1997.12.03
申请人 JEOL LTD 发明人 KAMATA NORIYUKI;ETO YOSHIYUKI
分类号 H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
地址