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发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH11167892(A)
申请公布日期
1999.06.22
申请号
JP19970333170
申请日期
1997.12.03
申请人
JEOL LTD
发明人
KAMATA NORIYUKI;ETO YOSHIYUKI
分类号
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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