| 发明名称 |
METHOD FOR TRANSPORTING ULTRAPURE GAS TO POINT OF USE AND SYSTEM THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11165060(A) |
申请公布日期 |
1999.06.22 |
| 申请号 |
JP19980261706 |
申请日期 |
1998.09.16 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE |
发明人 |
FRIEDT JEAN-MARIE;CHARLES JEAN-MICHEL |
| 分类号 |
B01J4/00;F17C7/04;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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