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发明名称 FILTER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11165012(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970330335 申请日期 1997.12.01
申请人 NIPPON SEISEN CO LTD 发明人 ISHIBE HIDEOMI
分类号 B01D29/01;B01D46/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B01D46/00 主分类号 B01D29/01
代理机构 代理人
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