发明名称 SUBSTRATE FOR FORMING PATTERN AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11168040(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970333979 申请日期 1997.12.04
申请人 ADVANCED DISPLAY INC 发明人 SHUDO KAZUO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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